EM사업부
METONE 6000 / Remote Type
청정실(Clean Room) 내의 고정식으로 설치되어 Grade A,B 환경에서 연속적으로 부유입자 개수를 측정하는 원격계측기
• 0.3㎛, 0.5㎛, 1.0㎛, 5.0㎛의 부유입자 측정 가능
• 오리피스 내장으로 균등한 유량 유지 지원 - 유지관리 Point 해소
• SUS Body 로 내구성 향상
• DATA Backup 기능 지원
MET ONE 6000 Series
| 구분 | METONE 6003 | METONE 6005 | METONE 6013 | METONE 6015 |
|---|---|---|---|---|
| 유량(분당) | 2.83L | 2.83L | 2.83L | 2.83L |
| 측정 Size | 0.5 ~ 10.0μm (2ch 선택) |
0.3 ~ 10.0μm (3ch 선택) |
0.5 ~ 10.0μm | 0.5 ~ 10.0μm |
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